在眾多變壓吸附制氧流程中，大體上可歸納為PSA、VSA、VPSA三種。PSA即超大氣壓吸附常壓解吸流程，優點是機組簡單且對分子篩要求低，缺點是能耗太高，宜在小型設備上使用；VSA即大氣壓吸附真空解吸流程，優點是能耗低，缺點是設備相對復雜，總投資昂貴；VPSA即穿透大氣壓真空解吸流程，優點是能耗較低，分子篩利用率高，設備總投資相對于VSA流程要低得多，缺點是對分子篩和閥門的要求相對較高。