歷時5年！成都*科技今年有望實現球形硅微粉小批量產銷！

日前，成都中節能*科技股份有限公司公告稱，公司2020年將落實球形硅微粉特制燃燒器的安裝調試工作以及成球工藝的定型化試驗，計劃在2020年上半年完成量產前工藝的驗證驗收工作，形成小批量產銷。

據了解，該熔融型球形硅微粉研發項目致力于實現球形硅微粉及其工藝裝備的規�；�、國產化，解決我國球形硅微粉受制于人的局面。

主要工藝為：

將上游客戶提供的角形超純硅微粉（R600、R610）通過氣流粉碎機粉碎到合適粒徑后，通過火焰熔融成珠法將其高溫瞬間熔化快速冷卻球化成形；

通過控制高溫加熱場溫度分布來解決超細粉體團聚、球化合并的難題；

通過精密粒徑控制技術批量制備各種不同粒徑規格的球形硅微粉；

通過表面處理技術制備適合不同封裝要求的表面改性球形硅微粉；

通過該項目完成一套球形硅微粉工程化成套裝備及關鍵零部件的研發和實際應用。

項目進展如下：

開始研發時間為2015年5月；

2017年內已完成技術論證、料性分析、分散性測試及熔融火焰場溫控制技術、燃燒器改造優化等工作，已形成實驗室產品；

2018年度新增工業化設備進行工業化小批量試制；

2019年4月起已送小樣給客戶進行指標分析，并根據客戶反饋對產品進行多次優化試驗分析和改進。

2020年將落實特制燃燒器的安裝調試工作以及成球工藝的定型化試驗，計劃在2020年上半年完成量產前工藝的驗證驗收工作，形成小批量產銷。

球形硅微粉主要用于大規模集成電路的封裝領域，但國外對球形硅微粉的球化技術、關鍵裝置采取了技術封鎖，對工藝裝備核心部位進行了封閉式管理。因此，我國高端球形硅微粉主要以進口為主，如何制備高純、超細的球形硅微粉已成為國內粉體研究的熱點。

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