未來15年微米/納米的制造技術

　　隨著人們對許多工業產品的功能集成化和外形小型化的需求， 使零部件的尺寸日趨微小化。進入人體的醫療機械和管道自動檢測裝置等都需要微型的齒輪、電機、傳感器和控制電路，這些需求帶動了微細加工和納米制造技術的發展，也促使了微型機械向系統化方向發展，并形成了有廣闊發展前景的微機電系統(MEMS)。我國在微機械研究方面，先后研制出靜電、電壓和電磁式的微電機，微泵與微閥、壓電與形狀記憶合金微夾鉗以及微操作系統模型等， 建立了兩個微加工基地(IC，LIGA)和一個項目研究中心。 
　　 
　　微型機械在國外已受到政府部門的重視。世界上納米科技水平*先進的國家是美國、日本、德國、英國。目前世界上已實現商品規模生產的納米材料有:金剛石、磁性材料、金屬、陶瓷、復合材料、半導體材料、生物醫用材料等。因此，我國應重視發展微米/ 納米制造技術，并從戰略高度部署微納系統的設計技術、微型裝配與封裝技術、微納測試與表征技術等方面的研究，提高我國在未來l0年乃至20年在國際上的競爭地位。 
　　   
 

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