YHG-1206I-CVD系統(tǒng)由滑動(dòng)式管式爐，混氣系統(tǒng)，真空及壓力系統(tǒng)等組成。此系統(tǒng)燒結(jié)溫度可達(dá)1200℃，通過(guò)滑動(dòng)爐體來(lái)實(shí)現(xiàn)快速的升降溫；配置不同的真空系統(tǒng)來(lái)達(dá)到理想的真空度；同時(shí)通過(guò)三路高精度質(zhì)量流量計(jì)控制不同氣體。是為生長(zhǎng)石墨烯生長(zhǎng)、研發(fā)的專(zhuān)用爐，也同樣適用于要求升降溫速度比較快的CVD實(shí)驗(yàn)。
1、 高真空系統(tǒng)由雙級(jí)旋片真空泵和分子泵組成，*高真空可達(dá)0.0001Pa；
2、 可配合壓強(qiáng)控制儀控制氣體壓力，實(shí)現(xiàn)負(fù)壓的精準(zhǔn)控制；
3、 數(shù)字質(zhì)量流量控制系統(tǒng)是由多路質(zhì)量流量計(jì)，流量顯示儀等組成，實(shí)現(xiàn)氣體的流量的精密測(cè)量和控制；
4、 每條氣體管路均配備高壓逆止閥，保證系統(tǒng)的安全性和連續(xù)均勻性；
5、 采用KF快速法蘭密封，裝卸方便快捷；
6、 管路采用世界*Swagelok卡套連接，不漏氣；
7、 超溫、過(guò)壓時(shí)，自動(dòng)切斷加熱電源及流量計(jì)進(jìn)氣，使用安全可靠；
8、爐體可移動(dòng)，能夠使加熱部分快速降溫。
主要技術(shù)參數(shù)：
爐體結(jié)構(gòu) 雙層爐殼間配有風(fēng)冷系統(tǒng)，有效保證外殼表面溫；
日本技術(shù)真空吸附成型的優(yōu)質(zhì)高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛，保溫性能好
爐子底部裝有一對(duì)滑軌，移動(dòng)平穩(wěn)
爐子可以手動(dòng)從一端滑向另一端，實(shí)現(xiàn)快速的加熱和冷卻
支撐兩端安裝油壓緩沖器
爐蓋可開(kāi)啟，可以實(shí)時(shí)觀察加熱的物料
電源 電壓：AC220V 50/60Hz；功率：4KW
爐管 高純石英管，高溫下化學(xué)穩(wěn)定性強(qiáng)，耐腐蝕，熱膨脹系數(shù)極小
尺寸：Φ40/60/80/100*1200mm
法蘭及支撐 SUS304不銹鋼快速法蘭，通過(guò)用高溫“O”型圈緊密密封可獲得高真空
一個(gè)卡箍就能完成法蘭的連接，放、取物料方便快捷
可調(diào)節(jié)的法蘭支撐，平衡爐管的受力支撐
包含進(jìn)氣、出氣、真空抽口針閥，KF密封圈及卡箍組合
加熱系統(tǒng) 加熱元件采用優(yōu)質(zhì)合金絲0Cr27Al7Mo2，表面負(fù)荷高、經(jīng)久耐用
加熱區(qū)長(zhǎng)度：410mm
恒溫區(qū)長(zhǎng)度：200mm
工作溫度：≤1150℃
*高溫度：1200℃
升溫速率：10℃/min
溫控系統(tǒng) 溫度控制采用人工智能調(diào)節(jié)技術(shù)，具有PID調(diào)節(jié)、自整定功能
30段升降溫程序
測(cè)溫元件：N型熱電偶
恒溫精度：±1℃
混氣系統(tǒng) 三路質(zhì)量流量計(jì)：數(shù)字顯示、氣體流量自動(dòng)控制
內(nèi)置不銹鋼混氣箱，每路氣體管路均配有逆止閥
管路采用不銹鋼管，接口為Φ6卡套
每路氣體進(jìn)氣管路配有不銹鋼針閥
通過(guò)控制面板上的旋鈕來(lái)調(diào)節(jié)氣體流量
流量規(guī)格：0~1SLM
流量精度：±1.5%
真空系統(tǒng) 采用雙極旋片真空泵，真空度可達(dá)5x10-1 Torr
數(shù)顯式真空壓力表
可選高真空系統(tǒng)及真空計(jì)，壓力控制系統(tǒng)等
可選配件 混氣系統(tǒng),中、高真空系統(tǒng)，各種剛玉、石英坩堝，石英管，計(jì)算機(jī)控制軟件，無(wú)紙記錄儀，氧含量分析儀。