儀器優點：
（a）分析速度高。測定用時與測定精密度有關，但一般都很短，2～5分鐘就可以測完樣品中的全部待測元素。
（b）X射線熒光光譜跟樣品的化學結合狀態無關，而且跟固體、粉末、液體及晶質、非晶質等物質的狀態也基本上沒有關系。（氣體密封在容器內也可分析）但是在高分辨率的精密測定中卻可看到有波長變化等現象。特別是在超軟X射線范圍內，這種效應更為顯著。波長變化用于化學位的測定。
（c）非破壞分析。在測定中不會引起化學狀態的改變，也不會出現試樣飛散現象。同一試樣可反復多次測量，結果重現性好。
（d） X射線熒光分析是一種物理分析方法，所以對在化學性質上屬同一族的元素也能進行分析。可分析的元素范圍從Na到U。WTH2000型的元素分析范圍是Na到U，含量范圍為10PPm～100％。因此該法已用于銅合金、鎳合金中高含量Cu、Ni的分析.
（e）分析精密度高。WTH－2000型的分析精度達0.1％，檢出限可達10ppm。
（f）制樣簡單，固體、粉末、液體樣品等都可以進行分析。