應用領域：
1. 精密工具與模具
- 高速鋼（HSS）刀具：消除淬火應力，提升硬度與韌性，延長使用壽命。
- 硬質合金模具：減少表面氧化，保持尺寸精度（如沖壓模具、注塑模具）。
2. 航空航天與軍工
- 鈦合金部件：真空回火避免氫脆，優化力學性能（如飛機起落架、發動機葉片）。
- 高強度鋼構件：消除殘余應力，提升抗疲勞強度（如火箭殼體、導彈結構件）。
3. 醫療器械與精密零件
- 手術器械（如不銹鋼鑷子、剪刀）：無氧化表面處理，確保潔凈度與耐腐蝕性。
- 微型齒輪/軸承：精準控制變形量，保障裝配精度。
4. 電子與半導體
- 磁性材料（如釹鐵硼永磁體）：真空環境防止晶界氧化，維持磁性能。
- 濺射靶材：回火改善微觀結構，提升濺射均勻性。
5. 高端金屬材料研發
- 形狀記憶合金（如鎳鈦合金）：調控相變溫度與回復性能。
- 超導材料：優化晶格結構，提高臨界電流密度。

技術特點：
1. 真空環境優勢
- 無氧化/無脫碳：高真空狀態下，保護工件表面光潔度。
- 去氣作用：高溫下脫除材料內部吸附氣體（如H₂、O₂），減少氫脆風險。
2. 溫度控制系統
- 溫控范圍：200~800°C（根據材料需求可擴展至1200°C）。
- 均勻性：多區獨立加熱+強制對流（氮氣/氬氣循環），爐溫均勻性≤±3°C。
- 升降溫速率：可控速率（如1~10°C/min），避免熱沖擊導致變形。
3. 加熱與冷卻技術
- 加熱方式：
- 電阻加熱：鉬絲、硅碳棒或金屬合金發熱體，適應不同溫度段。
- 輻射加熱：石墨發熱體結合反射屏，提升熱效率。
- 冷卻系統：
- 氣冷：高純氮氣/氬氣快速冷卻，可控冷卻速率。
- 分級冷卻：分階段降溫，減少殘余應力（如高溫段慢冷，低溫段快冷）。
4. 爐體結構設計
- 雙層水冷爐殼：內層不銹鋼（耐高溫），外層碳鋼，夾層通水冷卻，確保設備壽命。
- 密封性：金屬密封法蘭+高溫密封圈，漏率≤1×10⁻⁴ Pa·m³/s。
- 裝載系統：
- 多層料架：適應批量處理（如小型刀具、精密零件）。
- 定制工裝：針對異形件（如渦輪葉片）設計專用夾具。
5. 智能化與節能
- 工藝編程：預設多段回火曲線（升溫-保溫-冷卻），支持自動執行與數據存儲。
- 能耗優化：
- 余熱回收：利用廢氣預熱進氣氣體，節能20%~30%。
- 變頻控制：根據負載動態調整加熱功率。
- 安全防護：過溫保護、斷水報警、氣壓聯鎖等多重安全機制。